Monokristāliskā silīcija vafeles apstrādes tehnoloģija

Barošana → Kušana → Kakla augšana → Plecu augšana → Izometriskā augšana → Astes augšana
(1) Barošana: ievietojiet polisilīcija izejmateriālu un piemaisījumus kvarca tīģelī. Piemaisījumu veids ir atkarīgs no N vai P pretestības veida. Piemaisījumu veidi ir bors, fosfors, antimons un arsēns.
(2) Kausēšana: pēc polisilīcija izejvielu pievienošanas kvarca tīģelī kristāla augšanas krāsns ir jāaizver un jāiztukšo, pēc tam jāpiepilda ar augstas tīrības pakāpes argonu, lai uzturētu noteiktu spiediena diapazonu, un pēc tam ieslēdziet grafīta sildītāja jaudu, lai. uzkarsē līdz kušanas temperatūrai (1420 grādi), polisilīcija izejviela tiek izkususi.
(3) Kakla augšana: kad silīcija kausējuma temperatūra ir stabila, lēnām iegremdējiet sēklu kristālu silīcija kausējumā. Sakarā ar termisko spriegumu, kad sēklas kristāls saskaras ar silīcija kausējuma lauku, sēklu kristālā tiks radīti dislokācijas, un šīs dislokācijas ir jānovērš, veidojot kaklu. Kakla augšana ir ātri pacelt sēklu kristālu uz augšu, lai izaugušā sēklu kristāla diametrs tiktu samazināts līdz noteiktam izmēram (4-6mm). Tā kā dislokācijas līnija veido leņķi ar augšanas asi, kamēr kakls ir pietiekami garš, dislokācija var izaugt no kristāla virsmas, veidojot kristālu ar nulles dislokācijām.
(4) Plecu augšana: pēc plānā kakla izaugšanas temperatūra un vilkšanas ātrums jāsamazina, lai kristāla diametrs pakāpeniski palielinātos līdz vajadzīgajam izmēram.
(5) Vienāda diametra augšana: pēc plāna kakla un plecu izaugšanas lietņa diametru var uzturēt starp plus vai mīnus 2 mm, nepārtraukti regulējot vilkšanas ātrumu un temperatūru. Daļu ar fiksētu diametru sauc par izodiometra daļu. Monokristāliskā silīcija vafeles tiek ņemtas no vienāda diametra sekcijām.
(6) Astes augšana: pēc vienāda diametra daļas izaugšanas, ja lietnis tiek nekavējoties atdalīts no šķidruma virsmas, termiskais spriegums lietņā izraisīs dislokācijas un slīdēšanas līnijas. Tāpēc, lai izvairītos no šīs problēmas, lietņa diametrs ir pakāpeniski jāsamazina, līdz tas kļūst par asu un atdalās no šķidruma virsmas. Šo procesu sauc par astes augšanu. Izaugušo kristāla stieņu paceļ uz augšējo krāsns kameru, lai kādu laiku atdziest, un pēc tam izņem, lai pabeigtu augšanas ciklu.