Kāda ir silīcija vafeles plakanā mala?
Plakanu var saukt arī par pozicionēšanas malu.
2, 4 un 6-collu silīcija vafeles nav pilnībā apaļas, bet tām ir nogriezts trūkstošais stūris. Pēc tam, kad silīcija lietnis ir izvilkts ar CZ metodi, pirms tā sagriešanas silīcija plāksnēs, pēc kristāla orientācijas noteikšanas uz lietņa ar dimanta zāģi tiks izgriezta viena vai vairākas plakanas malas. Tāpēc silīcija plāksnei ir 1-2 pozicionēšanas malas, garā pozicionēšanas mala atrodas plāksnes apakšā, un īsā pozicionēšanas mala nav fiksēta pozīcijā, mainās atkarībā no kristāla orientācijas un dopinga veida.
Kāda ir saistība starp pozicionēšanas malas stāvokli un kristāla orientāciju?
Parasti ir trīs veidu kristālu orientācijas silīcija plāksnēm:<111> <110> <100>.
Ja leņķis starp galveno pozicionēšanas malu un sekundāro pozicionēšanas malu ir 45 grādi, silīcija vafeles tips ir n-veida<111>; ja leņķis starp galveno pozicionēšanas malu un sekundāro pozicionēšanas malu ir 90 grādi, silīcija plāksnītes tips ir p veida<100>; ja leņķis starp galveno pozicionēšanas malu un sekundāro pozicionēšanas malu ir 180 grādi, silīcija vafeles tips ir n-veida<100>. Kopš<110>kristāla orientācija nav galvenā silīcija vafeļu kristāla orientācija, nav standarta, kas to attēlotu. The<110>kristāla orientāciju var attēlot saskaņā ar silīcija vafeļu piegādātāja standartiem.
Vai primārās un sekundārās pozicionēšanas malu garums ir fiksēts?
Jā, jo tiem ir jāsaskaņo pusvadītāju ražošanas iekārtas, primārās, primārās un sekundārās pozicionēšanas malu garums un novietojums ir fiksēts.
Parasti 2-collu silīcija plāksnītes primārās pozicionēšanas malas garums ir 15,8 mm, 4-collu silīcija plāksnītes primārās pozicionēšanas malas garums ir 32,5 mm un primārās. 6-collu silīcija plāksnītes pozicionēšanas mala ir 57,5 mm. 4-collu silīcija plāksnītes sekundārās pozicionēšanas plakanās malas garums ir aptuveni 18 mm, bet 6-collu silīcija plāksnītes sekundārās pozicionēšanas plakanās malas garums ir aptuveni 22 mm.