Pēc tam, kad vafele ir izgājusi priekšgala procesu, mikroshēmas sagatavošana ir pabeigta, un tā ir jāsagriež, lai atdalītu čipsus uz vafeles, un beidzot jāiepako; turklāt ir arī daži procesi un testi, kuru veikšanai tīra silīcija vafeļu substrāts ir jāsagriež mazos kvadrātveida gabaliņos.
Atšķirība starp UV plēvi un zilo plēvi
Pirms vafeļu griešanas vafeles aizmugurē tiks pielīmēta plēves kārtiņa. Šī plēves slāņa funkcija ir pielīmēt šķembu pie plēves, kas var saglabāt graudus neskartus griešanas procesā un samazināt griešanas procesa laikā radušās lūzuma, pārvietošanās un krišanas problēmas.
Faktiskajā ražošanā plēvei, ko izmanto vafeļu un mikroshēmu nostiprināšanai, parasti izmanto UV plēvi vai zilu plēvi.
UV plēve: galvenokārt izmanto vafeļu retināšanas procesā;
Zilā plēve: galvenokārt izmanto vafeļu griešanas kubiņos;
1. attēls. UV un zilo plēvju raksturojums UV un zilās plēves
Gan UV plēve, gan zilā plēve ir lipīga. Lipīguma pakāpi parasti izsaka ar lipīgo lobīšanās pakāpi, parasti mērvienībās N/20 mm vai N/25 mm. 1 N/20 mm nozīmē, ka testa sloksne ir 20 mm plata un spēks, kas nepieciešams, lai to noņemtu no testa dēļa 180 grādu leņķī, ir 1 N.
UV plēve ir īpašs pārklājums, kas tiek uzklāts uz PET plēves substrāta virsmas, lai bloķētu ultravioleto gaismu un īsa viļņa garuma redzamo gaismu. 2. attēlā ir vispārīga UV plēves struktūras diagramma.
Parasti UV plēve sastāv no trim slāņiem. Pamatmateriāls ir polivinilhlorīds, lipīgais slānis atrodas vidū, un izdalīšanās plēve atrodas blakus lipīgajam slānim. Dažiem UV plēves modeļiem nav šīs atbrīvošanās plēves.
2. attēls. UV plēves struktūra
UV plēvi parasti sauc par ultravioletā starojuma lenti. Tas ir salīdzinoši dārgs, un tam ir īss derīguma termiņš, kad to neizmanto. Tas ir sadalīts trīs veidos: augsta viskozitāte, vidēja viskozitāte un zema viskozitāte.
Augstas viskozitātes UV plēves viskozitāte ir 5000mN/20mm ~ 12000mN/20mm pirms ultravioletā starojuma. Pēc ultravioletās apstarošanas pīlinga viskozitāte ir zem 1000mN/20mm;
Zemas viskozitātes UV plēves nolobīšanās viskozitāte ir aptuveni 1000 mN/20 mm pirms ultravioletā starojuma. Pēc ultravioletās apstarošanas pīlinga viskozitāte samazinās līdz aptuveni 100mN/20mm.
Pēc ultravioletās apstarošanas uz zemas viskozitātes UV plēves vafeļu virsmas nepaliks līmes paliekas, un graudus ir viegli noņemt.
UV plēvei ir atbilstošs izplešanās, un ūdens neiekļūst starp graudiem un lenti retināšanas un griešanas laikā.
Zilo plēvi parasti sauc par elektroniskās kvalitātes lenti. Tas ir salīdzinoši lēts. Tā ir zila plēve ar nemainīgu viskozitāti. Tās viskozitātes lobīšanās pakāpe parasti ir 100–3000 mN/20 mm. Temperatūras ietekmē tas radīs līmes paliekas. Turpretim UV plēve ir stabilāka un tai ir mazāk līmes atlikuma nekā zilajai plēvei.
Salīdzinot ar zilo plēvi, UV plēvei ir lielas priekšrocības, pateicoties tās mainīgās viskozitātes lobīšanās pakāpei. Tās galvenās funkcijas ir: nostiprināt vafeles vafeļu retināšanas laikā; aizsargāt mikroshēmu vafeļu griešanas kubiņos laikā, lai tā nenokristu vai nesalauztu malu; lai apgrieztu un transportētu vafeles, lai nenokristu jau kubiņos sagrieztā mikroshēma.
Dažādu UV plēves un zilās plēves parametru izmantošanas standartizēšana un atbilstošas UV plēves vai zilās plēves izvēle atbilstoši mikroshēmai nepieciešamajai apstrādes tehnoloģijai var ietaupīt izmaksas un veicināt mikroshēmu rūpniecisko attīstību.
Asmens griešana vai asmeņu zāģēšana
Lielās berzes dēļ griešanas laikā DI ūdens (dejonizēts ūdens) ir nepārtraukti jāizsmidzina no visiem virzieniem. Turklāt lāpstiņriteni jāpiestiprina ar dimanta daļiņām, lai to varētu labāk sagriezt.
Šajā laikā griezumam (asmens biezums: rievas platums) jābūt vienmērīgam un nedrīkst pārsniegt rievas platumu. Jau ilgu laiku zāģēšana ir bijusi visplašāk izmantotā tradicionālā griešanas metode, un tās lielākā priekšrocība ir tā, ka īsā laikā var sagriezt lielu skaitu vafeļu.
Tomēr, ja šķēles padeves ātrums ir ievērojami palielināts, palielinās iespēja, ka malas nolobīsies mazās skaidas. Tāpēc lāpstiņriteņa apgriezienu skaits ir jākontrolē aptuveni 30,000 reizes minūtē.
Asmens optimizācija
Lai risinātu jaunus griešanas izaicinājumus, ir nepieciešama sadarbība starp šķēlēšanas sistēmām un asmeņiem. Tas jo īpaši attiecas uz augstākās klases lietojumprogrammām.
Asmenim ir liela nozīme procesa optimizācijā. Papildus izmēram trīs galvenie parametri nosaka asmens īpašības: dimanta (abrazīvā) izmērs, dimanta saturs un saistvielas veids.
Saistviela ir dažādu metālu un/vai dimanta abrazīvu matrica, kas tajā ir izplatīta. Asmens izvēli var ietekmēt arī citi faktori, piemēram, padeves ātrums un vārpstas ātrums.
